Keithley 6521低電流掃描卡Keithley6522電壓/低電流掃描卡

Keithley6521 低電流掃描卡是一種 10 通道復用器，旨在在多點測試應用或必須改變測試配置時切換低電流。每條通道上的偏置電流 <1 pA，每條通道之間保持高隔離度 (>1015 W)。即使在反選通道時，6521 仍保持電流路徑，是真正的電流開關。BNC 輸入連接器幫助為靈敏測量提供屏蔽，掃描卡兼容低噪聲同軸電纜。6521 特別適合在半導體連接上自動進行反向漏流測試，或在 FET 上進行柵極漏流測試。

Keithley6522 電壓 / 低電流掃描卡可以提供*多 10 通道低電流、高阻抗電壓、高阻或電荷切換。盡管它在許多方面與6521類似，但 6522 的輸入連接器是 3 接線柱三同軸連接器。掃描卡可以通過軟件配置，切換高達 200 V 的高阻抗電壓。三同軸連接器則可以支持超過接地 500V 浮動電壓及高達 200 V 驅動保護。

Keithley6521 和 6522 技術數據
每張卡通道數量 10 條。
功能 6521：電流測量。6522：電壓和電流測量。
觸點配置 單極，信號 HI 輸入“先開后合”。信號 LO 是全部 10 條通道和輸出共用。在一條通
道關閉時，信號 HI 連接到信號 LO。6522：6517B 還可以把通道配置成電壓開關。
連接器類型 6521：輸入：BNC。輸出：三同軸。6522：輸入：三同軸。輸出：三同軸。
信號電平 6521：30 V, 500 mA, 10 VA ( 阻性負載 )。6522：200 V, 500 mA, 10 VA ( 阻性負載 )。
觸點壽命 *大信號電平下閉合次數 >106 次；低信號電平下閉合次數 >107 次。
觸點電阻 <1W。
觸點 Potential <200mV。
偏置電流 <1 pA (<30 fA 典型值 @ 23℃ , <60% 相對濕度 )。
動作時間 2 ms。
共模電壓 6521：<30 V 峰值。6522：<300 V 峰值。
通道隔離度 (6522) >1013 W, <0.3 pF。
輸入隔離度 (6522) >1010 W, <125 pF ( 輸入 HI 到輸入 LO)。
環境 工作時：0℃ ~ 50℃，*高 35℃ @ 70% 相對濕度。貯存：-25℃ ~ 65℃