測量范圍

 電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm可擴展)；  
 方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω.cm/□(可擴展)； 
 電導(dǎo)率：10^-5～10⁵ s/cm； 
 電阻：10^-5～10⁵ Ω； 

可測晶片厚度

 ≤3mm

可測晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；
 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源

 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距：1±0.01mm；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
  機械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量*大相對誤差

(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

測試標(biāo)準(zhǔn)

采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-9雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算出電阻值。儀器主機也可兼容RTS-8四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時使用。

軟件功能

軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口

 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強光直射；